SuperMax-I

製品詳細

機械寸法	780 x 790 x 967 mm
機械重量	200㎏
チャンバー寸法	510 x 600 x 190 mm
シールバー長	510 mm×2
シールバータイプ	Dタイプ
真空ポンプ	63 m³/h
制御パネル	IGTスタンダード
仕様	シングルシールとトリム（DST）もしくはダブルシール（DSS）
オプション	ソフトエア

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