J-V006LW シングルチャンバー
製品詳細
| 機械寸法 | W1,050 x L810 x H1,078㎜ |
| チャンバー寸法 | W1020 x L750 x H240㎜ |
| 電源仕様 | 三相200V |
| 真空ポンプ | 100㎥/ｈ |
| リッド高さ | 240㎜ |
| シール寸法 | 850㎜（手前）x 1 680㎜（左）x 1 |
| オプション | ガス注入 |
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