I-30

製品詳細

機械寸法	525 x 850 x 950 mm
機械重量	140㎏
チャンバー寸法	420 x 450 x 180 mm
シールバー長	450 mm×1
シールバータイプ	Fタイプ
真空ポンプ	63 m³/h
制御パネル	IGTスタンダード
仕様	シングルシールとトリム（DST）もしくはダブルシール（DSS）
オプション	MAP(ガス置換包装）、ソフトエア

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